二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097247 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN是一種具有單級直流電（DC）平面磁控管源的電子回旋共振（ECR）離子植入擴散爐。這種強大的工具可用於沈積各種材料的薄膜，如鋁、二氧化矽、氮化物等，用於各種電子應用。它配備了雙側狹縫快門控制的平面炮，用於偏振獨立的均勻性控制和能量調制，使得層沈積更加精確高效。TEL Alpha 808SCN是所有ECR離子植入擴散/濺射系統的標準平臺，有大量參數的完全手動和自動控制。它具有6區溫度控制系統，可用於調節膜沈積過程中的底物溫度，以及兩個額外的壓力控制區，以優化擴散過程。所有操作都可以通過簡單易用但功能強大的操作員界面進行管理。該機設計用於晶片處理高達8英寸（203.2毫米）的晶片，最大可用氣體壓力為1000毫巴。它還提供了氣體凈化能力，使用戶能夠將氣體凈化引入沈積室，以提高安全性和性能。此外，它還能夠使用氘和氮來裁剪沈積工藝，從而可以制造專門的金屬氧化物。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN是一種極精確的工具，提供高分辨率的離子植入過程，與傳統工具相比性能水平優越。它還被證明是一種高效的生產工具,具有自動進料/出料功能,允許高吞吐量和快速周轉時間。Alpha 808SCN是一種真空兼容、隔離的ECR單級直流平面磁控管源擴散和濺射工具,旨在滿足所有擴散和濺射需求的最新技術和工藝要求。其先進的特性使其成為當今領先的擴散爐之一。