二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293759916 待售
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ID: 293759916
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
Pyro CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是用於制造集成電路（ICs）的擴散爐及配件。該設備為摻雜劑擴散到基材中進行設備集成提供了可重復和可靠的熱處理。TEL Alpha 808SD具有一個顯示器,可以控制和監視晶圓處理。它有一個開孔管設計，帶有一個氙氧化室，一個平板石英反應堆和一個排氣管。的氧化室設計方便高溫氧化矽等高溫工藝步驟。平板石英反應堆的設計是為了確保晶片上的溫度均勻，同時保持高通量。排氣通風室的設計目的是提供高效的氫氣及其部件的排氣。系統裝有兩個大的加熱元件，最高溫度為1200 °C。它還具有過程控制功能，能夠精確控制溫度、時間和流量等熱過程參數。這確保了可重復和可靠的晶圓處理。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD包括一個四區加熱單元，可以快速加熱晶片和快速冷卻。該機器有一個自動氣體輸送工具，有助於保持室內的環境條件受到控制。Alpha 808S提供主室泄漏的泄漏檢測。它還包括一個樣品載荷端口，以便在正壓下裝卸晶片。TOKYO ELECTRON Alpha 808SD是一種模塊化設計的不銹鋼結構。不銹鋼提供方便的維護和安裝。它還確保無泄漏環境。Alpha 808SD資產配有多種配件，包括樣品支架、冷卻劑套件、碳棒、燈絲套件和盾牌。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD是一種堅固可靠的擴散爐及附件，設計用於提供可重復可靠的晶圓擴散處理。它是制造優質集成電路的絕佳選擇。
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