二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #293765074 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種擴散爐及其附件。它旨在創造一個有利於熱氧化、驅入和驅出、濕氮化和其他擴散處理的精確環境。TEL Alpha 808SD擴散爐的最高溫度範圍可達1250 °C。搭載12.1英寸彩色觸摸屏可編程控制器。它允許直接輸入流程應用程序和參數，以及為每個應用程序類型選擇最佳流程模式。控制器最多可在其內存中存儲40種配方。控制器具有可選擇屏幕顯示選項的進程監視功能。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD擴散爐還配備了基於微處理器的過程監測設備（PMS）、模擬光學高溫計、熱電偶和驅動控制系統。PMS能夠自動計算過程變量,如設置溫度、溫度速率和總周期時間。它還具有各種自動報警功能，如溫度過高、溫度不足和溫度偏差報警。Alpha 808SD擴散爐還裝有自動裝載機。該自動裝載機的設計使多個晶片能夠輕松高效地裝入擴散爐。它具有重力、真空和彈簧載荷等各種類型的載荷。自動裝載機配有微處理器控制的精確運動機構，以確保加工表面的溫度分布精確均勻。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD擴散爐還具有水平輸送裝置.該機器設計用於通過光路將晶片從自動加載器運送到加工室。晶片在運輸過程中牢固地固定,確保精確、安全的加工.ALPHA 808 SD擴散爐還具有排氣工具。該資產的設計目的是迅速從工藝室內清除蒸氣、廢氣、煙霧和顆粒。這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD擴散爐及其附件成為精確擴散處理的可靠有效工具。
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