二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083539 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種先進的擴散爐及相關配件，旨在提供均勻、高精度的半導體晶圓摻雜。TEL Alpha 808SD的基本設計由一個高溫熱室、兩個電子束槍和一個輔助氣體分配設備組成。該爐能夠在高達1,100 °C的溫度範圍內工作。爐子可以加熱直徑達4英寸的樣品，最多可進行999次循環，循環時間為10分鐘或更短。兩個電子束槍是負責半導體晶片均勻精確摻雜的元件。噴槍能夠獨立或同步運行，產生低、中或高電子電流強度，精度高達+/-10 V。電子束噴槍得到輔助氣體分配系統的進一步輔助，該系統產生一個分子束，用於精確應用和向爐子中註入不同的摻雜氣體。該設計還采用了先進的真空裝置，其中包括液氮冷卻冷凍泵，以及用於精確控制氣流和溫度的自動氣流和溫度調節系統。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD還包括一個精密的反饋控制機器。這調節了電子束的空間能量分布，允許對樣品摻雜過程的精確控制。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種先進、精確的擴散爐及相關配件，旨在提供均勻、高精度的半導體晶片摻雜。該工具具有高溫熱室、兩把電子束槍和一個輔助氣體分配資產，所有這些都結合在一起，提供了精確受控的摻雜過程。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD還具有調節電子束空間能量分布的復雜反饋控制模型。