二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是由全球半導體設備制造領導者TEL設計的擴散爐及配套配件。它是用於形成集成電路和其他晶圓的熱處理裝置。TEL Alpha 808SD包含多個組件,以確保最佳處理結果。該系統包括兩個計算機控制電源，一條高溫線路和一個工藝控制器。它還包括一個擴散爐、一個可調伸縮臂（便於裝卸）和一個隔離閥。過程控制器允許為每個過程設置精確的溫度、大氣氣體和時間參數。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD帶有獨特設計的擴散爐，提供均勻的溫度分布和優異的溫度均勻性。它的墻壁特別塗有防止汙染的塗層，內部有一個持久的不銹鋼襯裏。該爐還包括一個漸進加熱系統和可調節擋板，有助於保持均勻的溫度分布。TEL ALPHA 808 SD能夠在短時間內處理大量基板，其依賴力的隔離閥技術保證了安全運行和快速冷卻。此外,它的模塊化設計使部件易於維護和調整。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD允許在各種應用中進行高效晶圓處理。適用於薄膜矽化、聚矽、柵極電介質、金屬沈積在選擇性區域和MEMS應用。也適用於RTP、幹蝕刻、擴散、氧化、LPCVD和金屬的電化學沈積。總體而言，Alpha 808SD是一個功能強大的擴散處理系統。提供優良的晶圓加工控制、均勻的溫度分布和可靠的操作。ALPHA 808 SD具有耐久的不銹鋼襯裏和可調擋板，非常適合廣泛的擴散加工應用。