二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9083542 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種高速的、最先進的擴散爐及配件設備,旨在滿足當今現代半導體制造工藝的嚴謹需求。它是目前市場上最可靠、用途最廣泛的擴散系統之一。TEL Alpha 808SD具有堅固的結構和先進的熱控制技術,可確保整個周期中擴散過程的一致性和可靠性。這套完整的爐子系統具有多種先進功能,包括可選的高八區配置,可精確控制熱板溫度,以及易於維護的石英玻璃蓋設計,以提高工藝控制。主室可采用高強度、不銹鋼框架密封,而並排RF發電機和高精度閥門單元則保證了優異的工藝重復性。機器還包括一個具有預測補償的14級工藝控制器,可以適應任何特定工藝的要求,因為它提供了即使在擴散周期進行中也能適應工藝設置的能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD包括專有的實時軟件工具,用於過程監控和數據記錄。此資產旨在與其他數據管理軟件解決方案集成,以跟蹤流程信息。這可用於實時優化流程設置並提高產品產量。該模型還包括一個節能的自熱功能,優化電源切換,在不犧牲循環時間的情況下減少消耗的能量。可以添加一個可選的遠程操作套件,允許通過網絡連接進行操作和監控,並且集成到主腔室的微狹縫閥允許用戶在不中斷過程的情況下安全撤離腔室。此外,設備設計通過所有必要的安全標準,以保護操作員。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD是一種強大可靠的擴散爐系統,非常適合現代半導體制造工藝。憑借其先進的功能,該設備能夠可靠地滿足制造商最嚴格的工藝要求。該機器堅固的結構和直觀的設計使其易於操作和維護,並且它與各種其他數據管理工具的兼容性有助於高效的過程管理和優化產品產量。
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