二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097849 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種用於晶圓制造高質量加工的擴散爐及配件。擴散爐的集成控制器和高速數據通信設備使多達8個晶片的處理不需要任何機械交換。這使得系統能夠產生精確的晶片，具有幹凈、均勻的表面結構，對於可靠的半導體性能至關重要。TEL Alpha 808SD擴散爐利用在低密度石英玻璃管室中移動的石英管。這使管子比其他擴散處理型號更快地被加熱和冷卻，導致加工時間更短，產量更高。然後用高壓氮清洗腔室，保持低溫，保護內部晶片免受汙染。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD還具有一個氣體供應單元，它提供自動三向創建背面砷（BSA）工藝，使其能夠對該工藝進行超精確控制。該擴散爐還采用化學氫化氧化沈積工藝，在保持質量的同時，使工藝時間縮短3/4。ALPHA 808 SD還具有負載鎖定傳遞功能,使其能夠最大程度地減少晶圓暴露和汙染。集成時鐘恢復電路使高速I/O端口可用於與半導體絕緣柵極雙極晶體管（Si-IGBT）控制器通信。這允許對工藝參數進行精確、精細調整的控制,這對於生產高質量的晶片至關重要。TEL ALPHA 808 SD是一種極可靠、高效的擴散爐，能夠生產出浪費最少的優質晶片。集成控制器和高速數據通信機提供無機械交換的一致處理，CHOD過程使得處理時間短，產量高。負載鎖定傳遞最大限度地減少了晶圓汙染，集成時鐘回收電路確保了工藝參數的精確控制。利用TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD，半導體制造商可以保證有一個可靠、高效的擴散爐。