二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9097854 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
ID: 9097854
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
Pyro oxide furnace, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一種先進的擴散爐和附件,提供卓越的設備性能和可靠性。這款擴散爐采用單模塊設計,采用了多功能、熱能和控制設備,使制造商能夠輕松地融入其設施。TEL Alpha 808SD還設有一個由兩個模塊組成的雙層建築系統,第一個模塊控制加熱速率、溫度均勻性和熱均勻性,而第二個模塊負責執行基於配方的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD利用水平載荷、圓頂形的爐子,配有雙側壁和內部隔板加熱,以提供更好的熱均勻性和重復性。該爐采用先進的紅外加熱裝置和電動清潔機,性能優越。由於圓頂形狀,熔爐能夠保持較大的溫度範圍,攝氏30-1000度,用於晶圓加工。該爐還配有內置的雙熱屏蔽裝置和閉環溫度控制器,以防止環境波動。這種擴散爐還可以容納多種晶圓尺寸,直徑可達8英寸,一次可處理多達30個晶圓。Alpha 808SD包含多達10種可編程配方,允許用戶輕松定制其熱處理技術。該爐還能夠精確控制溫度梯度和波動,同時其均勻性控制確保了從一側到另一側的最小變化。TEL ALPHA 808 SD的設計和工程符合國際安全標準,爐子還配備了互鎖工具、過溫探測器、應急預警裝置、自動關機等綜合防護功能,以實現最佳安全。其先進的設計還包括保溫,以盡量減少損失和降低能耗。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD代表了強大可靠的擴散爐及配件,是制造商尋求提高生產產量、重復性和工藝可靠性的理想選擇。
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