二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9395109 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是專門為半導體器件制造而設計的擴散爐。TEL Alpha 808SD是一系列工藝的理想選擇，包括沈積、摻雜和退火。它具有獨特的圓柱形設計，為統一一致的結果提供了出色的溫度控制。爐子是高度可靠的，允許用戶產生完美的效果，而不需要昂貴的更換零件或修理。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD擴散爐具有垂直熱墻結構，主室高約915mm，直徑約600mm。最高運行溫度為1250 °C，並配有嵌入式PLC和用戶友好界面，便於設置和操作。嵌入式PLC最多可存儲10種不同的配方，用於一致和可重復的處理。Alpha 808SD配備了先進的輻射測量設備，可確保對均勻密封的精確功率級控制。還配備了手動傳感系統，以減少溫度漂移，進行精確的熱控。此外，爐子還裝有排氣監控器，在工藝室內提供精確的壓力。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD還包括一個可選的負載鎖定單元，用於自動樣品裝卸。該裝載機具有快速更換室，可減少過程停機時間，減少質量損失，清潔樣品處理。TEL ALPHA 808 SD還具有廣泛選擇的配件，用於定制爐子以適應個人需求。這包括一個超高溫換能器、石英區船和石英樣品架。此外，TEL還為敏感過程提供了一個可選的氙氣凈化氣體入口，用於控制大氣雜質。總體而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是半導體器件制造的理想擴散爐.它具有出色的溫度控制、可靠性,並具有各種定制配件。對於那些希望以最小的停機時間獲得快速、一致和可重復結果的人來說,它是一個理想的解決方案。