二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SN #9083660 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN擴散爐及配件（Diffusion Furnace&Accessorie）是一種全自動半導體生產工具，具有受控的熱和化學工藝，用於制造半導體芯片和其他矽產品。TEL Alpha 808SN是TEL的最新機型,具有廣泛的功能和設計增強功能,使其適合任何生產環境。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN具有一個高溫室和三個獨立的工藝烤箱，每個烤箱都有自己的一套工藝成分，用於以下工藝：熱氧化、雜質摻雜和磷摻雜。先進的控制設備設計用於監測溫度、流量、壓力和其他工藝參數，以確保產量一致且可重復。它支持各種工藝配方,並能夠根據定制生產需求定制配方。Alpha 808SN還包括一個獨特的兩級快速冷卻系統，它允許對腔室和加工烤箱進行快速冷卻，以減少顆粒汙染和均勻性問題。兩級機組還降低了能耗，並允許在預熱和循環暫停後快速恢復到目標溫度。這臺機器可以提高吞吐量和可靠性。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SN還配備了智能電源傳遞工具,該工具包含三相、低波紋、直流電源,可為每個工藝提供最佳電源。這種高效的電力輸送使熱應力最小化,並允許更好的溫度穩定性和均勻性。TEL Alpha 808SN還有一個內置的壓力控制資產,可優化加工爐內部的壓力水平,同時確保安全的環境。該模型保持了室內的可控氣氛，有效消除了氣體泄漏，從而提高了工藝產量。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA 808SN還配備了自動傳送設備，方便晶圓的轉移和加載。該系統需要最少的操作員交互,旨在提高效率和減少生產停機時間。輸送機裝置還確保將晶片精確放置到加工烤箱中。總之,Alpha 808SN擴散爐是一種先進可靠的半導體生產工具.它具有能夠精確控制過程、快速冷卻、高效供電、壓力控制和自動化輸送機的功能,所有這些都有助於提高效率和可靠的生產成果。