二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092846 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一種擴散爐及其附件，用於精確控制精確熱電沈積的摻雜劑和溫度分布。該擴散爐可提供高達1050°C的工藝溫度,並提供多區和快速坡道上升/下降能力,以提高均勻性。它還具有熱分解技術，以提高工藝的均勻性和工藝的靈活性。TEL Alpha 81-ZA設備由一個爐區和一個控制器以及一些附件構成。爐區由垂直石英管（或管船）和氧化鋁頂載式爐膛組成。這有助於水平對流冷卻，以提高均勻性和快速加工。該爐還配有石英襯裏和石棉絕緣材料，以提高工藝效率和安全性。系統控制器用戶友好,帶有大型圖形圖標,可引導用戶瀏覽菜單和進程。這可以讓用戶準確控制壓力、溫度、加熱速率等功能。控制器還配備了精確的傳感器和熱電偶探針，以幫助確保精確的溫度測控。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA單元還包括一些其他配件，以方便高效、精確的處理。這些包括推腳踏車、石英crucibles、晶圓載體、擴散鐘形罐、間距桿、真空端口和水冷電極。所有這些共同努力提供一個安全和有效的擴散過程。總體而言，Alpha 81-ZA是一種先進的擴散爐及附件機，用於精確控制加工。它提供高達1050°C的溫度,具有多區域精度和卓越的工藝均勻性。人性化的控制器和各種配件還提供精確的控制、方便和安全。此工具非常適合任何需要精確熱電沈積的應用。