二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092848 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA
ID: 9092848
晶圓大小: 8"
Furnace, 8" Process capability: Pyro Zones: 5 Process gases: N2, H2, O2, DCE Controller model: TS4000 Accessories: Atmospheric system, loadsize, 100, VMU heater CE mark: Yes.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一種最先進的擴散爐和配件,設計用於生產高純度半導體材料,如單晶矽(Si)和其他化合物材料,用於微電子元件。這款高性能設備由快速有效的微觀管理模塊、超高分辨率成像系統、極端溫度穩定等先進技術驅動。快速有效的微觀管理模塊,又稱過程控制模塊,使工藝工程師能夠對爐子的整個溫度和壓力參數進行精密編程和管理。該模塊不僅能夠密切監測爐子過程的所有參數和條件,而且能夠快速、方便地實時診斷、評估和糾正問題。安裝在設備內的超高分辨率成像單元允許對小至0.1微米(1/100毫米)的組件進行詳細測量。極端的溫度穩定性進一步強化了爐的性能;對於攝氏10至2000度的溫度,它是準確且一致的。TEL Alpha 81-ZA擴散爐還有一個符合人體工程學的設計,其組件如門、前進門板、安全門都位於機器的下部;這樣可以方便地進入設備內部。此外,擴散爐內部的高效空間利用使零件和部件的填充速度和精度更高。同樣值得註意的是,擴散過程很容易自動化。使用TEL/Tokyo Alpha Series軟件,內存庫中最多可以存儲16種配方,以便快速參考和修改。這使得開發工藝配方變得容易,支持先進半導體器件的設計和生產。最後,TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA擴散爐通過了廣泛的安全措施認證,包括詳細的監控和自動化。這確保了該工具的安全使用,並為半導體材料的生產提供了一個舒適和安全的環境。綜上所述,Alpha 81-ZA是一種先進可靠的擴散爐及配件,在設計時考慮到精密、精確、專業和安全。它將超高分辨率、溫度穩定性和自動化過程控制等多項高科技功能結合到一個符合行業標準要求的綜合資產中,成為現代半導體器件生產的理想解決方案。
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