二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZA #9092856 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA是一種擴散爐及其附屬配件，是處理半導體基板的強大的一體設備。該系統能夠進行低溫氧化、高溫氧化物生長、低溫摻雜劑沈積和高溫沈積離子植入。它配備了一個符合人體工程學設計的控制站，該控制站具有用戶友好的軟件和功能，能夠執行從批處理到單晶片負載的過程，而用戶只需付出最小的努力。該機組的熱源爐室安裝在鋼架上，有一個受控的石英石英內襯和一個由兩半鋁組成的外殼。它呈圓柱形，頂部平坦，最多可容納十六個晶圓。爐房由懸掛在爐房頂部的一系列鎢線圈加熱，並由高頻電源驅動。線圈會自動卸下以進行維護和更換。腔室的溫度由與線圈相連的控制爐控制器控制，控制機提供電源，並將從探測器、溫度補償器和烤箱控制器接收到的信號轉化為從熱電偶計獲得的所需溫度。該爐控制器可以編程與不同的配置文件為每個步驟的處理。此外，爐控制器還配備了安全和安保功能，如聯鎖、報警和警告。該工具包括一個排氣閥資產連接到腔室，並配有一個風扇驅動的流量計用於測量氣流。排氣閥的作用是防止環境遠離爐內高溫，並通過限制排放的氣體來防止汙染。TEL Alpha 81-ZA還包括一個液態制冷劑模型，連接到腔室和全自動泵設備。爐膛內有充氣管，用於溫度和壓力讀數。制冷劑冷卻腔室，在需要改變溫度時允許快速恢復時間。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZA被設計為半導體行業中高效、經濟高效的解決方案，為要求苛刻的應用提供了通用、準確的處理能力。Alpha 81-ZA具有符合人體工程學的優化控制系統、簡單的用戶界面和豐富的高級功能,是任何希望提高處理能力的實驗室的理想選擇。