二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZAN #9092857 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN是一種精密的擴散爐及配件，用於半導體加工應用。它具有復雜的多區域溫度控制和熱循環選項,為超高產量和頂級質量輸出提供了精確的工藝參數。TEL Alpha 81-ZAN所創造的精確度允許以始終如一的高效率進行層移、高溫氧化過程、氮化物處理和氣相沈積過程等過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN包括一個方向型、多室真空擴散爐和一個硬件和軟件部件設備，這些設備提供了一整套工具來準備和控制各種擴散過程。該工藝室采用高級不銹鋼結構，包括兩個獨立溫區的加熱線圈系統，可實現不同的擴散速率。先進的基於開爾文的溫度控制單元允許調節工藝參數，以提高精度和可重復性。機器還包括一個自動刀具控制器（ASC），允許連續監測功率水平和溫度控制設置。ASC還集成了RS485遠程診斷功能,允許用戶訪問歷史數據日誌以及執行流程優化和故障排除。該資產還包括一個可變壓力發射控制裝置（VPECD），它允許在工藝室內為各種應用創造精確的壓力。為了安全和長期可靠性，Alpha 81-ZAN配備了溫度安全監測器和控制氣流的聯鎖模型。為減少維護和停機時間,設備采用了符合人體工程學的優化外殼和集成LED顯示屏,便於監控和診斷。該裝置還配有一套樣品儲存用品，包括石英管、瓶蓋和冷卻器。綜上所述，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZAN是一種先進的擴散爐及配件，專為頂級半導體加工能力而設計。它提供了許多功能,以實現卓越的溫度控制和準確的工藝參數,以及監控和優化系統所需的硬件和軟件工具。TEL Alpha 81-ZAN結合了安全性和可靠性的特點,是技術和電子行業廣泛應用的理想選擇。