二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092858 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV擴散爐是一種自動化的半導體擴散和熱處理設備，專門形成用於IC器件和其他電路元件的多晶矽互連。擴散爐有一個單一的方便位置，溫度範圍為150至2000攝氏度。它具有三個集成系統：一個高溫低壓退火室；低應力爐；以及一個氧化和蝕刻室。HTLA室利用精確的溫度分析設定點在高溫處理應用中產生均勻退火。該腔室能夠提供52至1800攝氏度的數值,用於精確的異常性能。低應力爐也適用於高溫處理應用，產生攝氏45至1500度的數值。氧化蝕刻室可編程以滿足具有挑戰性的氧化蝕刻需求，並提供攝氏3至950度的值域。TEL Alpha 81-ZV擴散爐具有智能靈活的控制系統，能夠實時監測、記錄、分析和顯示所有參數。直觀、用戶友好的界面為用戶提供了包括晶圓循環狀態、工藝配方、工藝時間和周期時間在內的信息。該爐還具有可編程的四區均衡器，用於精確控制橫向溫度梯度。它配備了石墨敏感器，也有一個大氣壓力碳氫化合物為基礎的大氣站，用於氣體的均勻分布。TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV擴散爐設計用於制造可靠且無缺陷的半導體器件。其特點是保持晶圓表面的溫度均勻性，具有跟蹤周期性能和工藝優化的數據記錄和分析功能。該爐還內置了惰性氣體低級檢測、內部超壓檢測以及氧氣減壓保護等安全傳感器。此外,該設備符合SEMI S2標準以及ESD和EMI準則。總體而言，Alpha 81-ZV擴散爐是一種適用於IC元件高溫處理的集成機器，其設計可提供均勻的退火和可靠的性能。它具有用戶友好的界面、精確的控制工具、安全傳感器，並符合行業質量保證標準。