二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZV #9092859 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV擴散爐是一種用於集成設備處理的單浴垂直爐設備。它擁有最高1,100 °C的工藝，並能容納多達6個晶圓。由主框架、氣線、上層水平隔熱罩、下層水平隔熱罩、敏感器和晶圓船組成。主框架采用不銹鋼制成，並配有高純度氮氣凈化氣體排氣系統。它還包含一個小氣瓶的地方，石英玻璃窗和快門。氣體管線為反應室提供氮氣、氫氣或鹵化氫，用於各種過程。上下水平隔熱罩組成反應室，由高級氧化鋁陶瓷材料制成，用於隔熱。磁感器為圓柱形高溫石英玻璃，直徑8英寸（203毫米）。晶圓船的設計最多可容納六個直徑100毫米的晶圓。船用石英材料制成，並設有內置通道，使氣體通過船體進入反應室。爐子有一個觸摸屏彩色監視器，可以監視和控制溫度和其他設置。還有一個配方程序功能，可以方便地將工藝配方裝載到爐子上。該裝置還設有氧化/氮化機，具有多種模式（例如快速氧化、快速氮化、低溫氮化、槽式氧化等），以滿足各種設備的需要。排氣風扇也可用於工藝室，以保持穩定的壓力，確保安全和清潔的氣氛。最後，TEL Alpha 81-ZV的設計中內置了多種安全特性，在發生電源故障的情況下，除了警報聲外，還重新加強了爐的安全運行。最後，TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZV擴散爐提供了一系列的特點，使其成為集成設備加工的高效、經濟高效的工具。它提供了其他擴散爐系統所沒有的安全和便利的組合。