二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZVFN #9092860 待售
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ID: 9092860
晶圓大小: 8"
Furnace, 8"
Process capability: TiSi
Zones: 5
Controller model: TS4000
Process gases: N2, N2
CE mark: Yes
Accessories: CVD system, loadsize 100, VMU heater.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZVFN是一種用於生產高度工程化材料的擴散爐。它是一種用途廣泛、可靠的熔爐,用於多種行業。TEL Alpha 81-ZVFN是一種垂直爐,具有方便的腔室大小和寬闊的門,在生產過程中容易進入。氣體分配系統保證了均勻的溫度,以便進行一致的處理.該爐具有先進的技術和特點,便於高效運行和精確控制。其現代特性允許進行自動壓力擺動控制,循環精度達到華氏1-10,000度,並對可選參數進行實時溫度控制。這樣就可以在較長時間內精確控制數據。使用最佳真空系統作為其設計的一部分,使TOKYO ELECTRON Alpha 81-ZVFN能夠實現更好的能量效率。其硬件與各種不同的氣體兼容,用於更復雜的應用。爐子還配備了數字顯示屏,使操作員能夠輕松地從前面板調整設置。Alpha 81-ZVFN配有多種配件,可用於改進生產流程。其中一些包括冷卻風扇、通道管和氣體容量罐。冷卻風扇在高活度期間保持腔室內部不受汙染,而通過管道則允許氣體在系統中自由移動。燃氣容量罐可以增加可用氣體量,也可用於將有害氣體儲存在遠離主室的安全容器中。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 81-ZVFN是一種可靠的擴散爐,設計用於各種生產過程。其先進的特性和配件允許高效的操作,精確的控制,並提高能效。包括數字顯示屏和調整前面板設置的能力使這種爐子成為需要可靠和精確生產設備的人的絕佳選擇。
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