二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 85-Z #293806756 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z是TEL制造的先進擴散爐及相關配件。TEL ALPHA 85Z設計為提供精確的溫度控制，溫度範圍從100 °C到1100 °C。這是通過精心設計的組件組合實現的，其中包括一個高功率感應加熱元件、一個陶瓷crucible、精細溫度調節和一個電位，用於獨立控制爐子兩個電氣區的每個溫度。該85-Z還配備了一個獨特的專利石英晶體，全範圍的溫度監測精確的溫度調節。該設備還擁有自始至終控制全過程的熱區監控系統。熱區監測裝置具有堅固的碎片收集過濾器，有助於確保清潔的工作環境。TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z的其他特性還包括一臺真空機，用於降低爐子環境中氧氣的分壓，從而增強擴散過程。該工具還具有排氣過濾器，有助於最大限度地減少灰塵和其他有害粒子進入大氣。爐子本身由高級鋁合金制成，耐腐蝕和熱產生的磨損。TOKYO ELECTRON ALPHA 85-Z擴散爐還包括一系列配件。這些附件包括一個鋼釘點源，用於精確控制爐子特定區域的溫度。它還包括一個石墨敏感器，用於控制散熱在一個更大的區域。此外，它還包括一個在擴散過程中最小化熱應力和控制氧化的爐襯。這有助於增強擴散過程的均勻性。除了爐子本身，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 85 Z還包括一臺功能強大的車載PC。該PC是資產的控制中心，能夠操作爐子以及監測和調節各個部件。這樣可以確保高效、無錯誤的操作。總之，Alpha 85-Z是一種強大、先進的擴散爐，能夠提供精確的溫度控制和高效的擴散。它包括一系列增強和控制擴散過程的配件，以及用於精確操作的車載PC。這使得TEL ALPHA 85 Z成為半導體制造中先進擴散應用的理想選擇。