二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / 808SC #111907 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ 808SC是一種最先進的擴散爐和附件，設計用於將薄膜沈積到半導體晶片上。該設備能夠在直徑不超過8英寸的晶片上提供卓越的均勻性和均勻溫度。TEL Alpha 8S/ 808SC采用先進的8區浸入式石英管擴散爐，最高溫度為1,200 °C。它還配備了先進的清潔系統，旨在在沈積前從晶片中清除所有類型的汙染物。該裝置采用各向同性和各向異性蝕刻技術的組合，以去除顆粒、金屬和有機汙染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ 808SC還包括多種配件，如兩個便於晶圓加載的加載機器人，一個確保精確溫度控制的溫度傳感器端口（TSP），以及一個內置的質量流控制器（MFC）來管理和精確控制氣體流動。該機還包括一個負載鎖定工具，以防止汙染和保存過程氣體。Alpha 8S/ 808SC專為精細的沈積工藝而設計，能夠沈積厚度在50 nm至500 nm之間的薄膜。它是為低溫、低壓沈積而設計的，因此能夠在不影響精度的情況下沈積薄膜。該資產還被評為高生產率，適合批量生產。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SC還配備了警告/警報功能和圖形用戶界面（GUI）,以方便高效操作並提供有關工藝參數的實時信息。此用戶友好的GUI還有助於確保模型安全高效地運行。總體而言，TEL Alpha 8S/ 808SC是一種先進的擴散爐和附件，其設計提供優於其他系統的性能和明顯的優勢。先進的8區石英管爐、先進的清洗設備、溫度傳感器口、質量流量控制器、負載鎖定系統、用戶友好的GUI確保了可靠一致的沈積效果，提高了生產效率。