二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / A-808SD #86160 待售

ID: 86160
Furnaces for N2 anneal.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD是一種擴散爐和附件,旨在提供堅固和可重現的擴散處理。為了獲得所需的設備特性,對擴散爐進行了工程改造,使基板能快速、重現地加工。TEL Alpha 8S/ A-808SD配備了一個大直徑的雙區加熱室,設計用於容納直徑達200毫米的基板。雙區加熱室確保溫度分布均勻,實現了一致、重復的擴散處理。擴散爐由輕質耐用的復合材料構成,具有直觀的用戶界面和觸摸面板和操縱桿控制。該系統旨在通過優化散熱和氣體分布來生長單層和多層薄膜和SOI結構。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD配有一套附件,設計用於擴展擴散處理,包括和正在處理的石英樣品架、工藝氣體註入口、冷壁裝載站、氣體肩cap骨和石英頂裝載機。阿爾法8S/ A-808SD加熱時的功耗較其他擴散爐低,運行維護經濟。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ A-808SD已通過ISO 9000質量保證驗證,確保了可靠和可重復的結果。擴散爐由一個廣泛的TEL專家團隊作為後盾,提供全面的技術和維修服務。TEL Alpha 8S/ A-808SD是生產高質量、高性能應用程序的理想選擇。
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