二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #293591594 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是一種最先進的擴散爐和附件，設計用於處理廣泛的半導體應用。它旨在提供一種自動化的高精度解決方案,適用於直徑不超過200 mm的各種元件和晶圓尺寸。TEL Alpha 8S-Z/ 808S是一種全自動爐，可用於外延沈積、擴散、升華等工藝應用。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S的核心是一個單室雙殼石英反應室，內嵌氧化鋁襯裏，使熱性能最大化。該爐還配備了節能、低噪聲的空氣冷卻風扇和直列式加熱器，用於精確的溫度控制。此外，它還配備了高效臭氧發生器、實時溫度測量設備和專用軟件控制，使其成為溫度敏感工藝的理想選擇。Alpha 8S-Z/ 808S還具有完全可編程的配方系統,可存儲多達48種配方,使用戶可以輕松訪問和復制以前的用途。該爐還包括一個先進的加熱控制單元，可以精確調節溫度和時間周期，以達到最佳性能。這可以通過允許用戶根據流程要求調整出廠設置的自定義配置設置來進一步增強。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S設計為免維護且易於操作。該艙室設有一個可移動的石墨船，以減少殘留物的堆積，使裝載無搖籃更容易。此外,TEL Alpha 8S-Z/ 808S的標準安全功能包括減壓閥、百葉窗和其他功能,以盡量減少發生事故的風險,並盡可能確保操作安全。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是一種可靠而強大的擴散爐和配件，適合各種工藝應用。集成的高效臭氧發生器、先進的加熱控制機、可定制的配置設置使其成為高精度工藝的絕佳選擇。低噪聲的空氣冷卻風扇和直列式加熱器可實現節能性能,高完整性的腔室襯裏最大限度地提高了散熱性能。Alpha 8S-Z/ 808S由於其易用性和專用的軟件控制,是半導體制造的絕佳選擇。