二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z / 808S #9361886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z/ 808S是為熱處理應用而設計的擴散爐。它是一種高性能、中大尺寸的爐具，提供大的工藝容量、優良的均勻性、優良的重復性、高吞吐量。該系統使用鹵素燈作為加熱元件，從而無需外部預驅裝置。該裝置為高溫、高質量的工藝提供了創新的解決方案，非常適合各種具有挑戰性的工藝，如低溫外延、層間介電沈積（ILD）、淺溝隔離（STI）和金屬擴散。TEL Alpha 8S-Z/ 808S提供多種選項,例如,能夠編程高達1000 °C的高溫步驟。它也有能力容納多達四個石英晶片。該機改進後的空氣渦輪泵可提供5 torr的最大工藝壓力。它采用獨特的過濾設計，最大限度地提高工藝效率，最大限度地減少排氣。它還利用了一個「冷墻」特征，允許在運行過程中均勻熱加熱。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z/ 808S還具有直觀的觸摸屏控制界面、高精度的位置驅動工具以及一系列其他方便的功能，如自動加載過程和自動卸載能力。資產還包括幾個附件，如平面陶瓷加熱器、可選石英晶體監視器，以及其他各種可選設備，方便設置和使用。此外,該型號還提供多種維護和服務選項,包括遠程維護功能以及設備更換和調整,以加快流程周轉時間。總體而言，Alpha 8S-Z/ 808S是一種先進和創新的擴散爐及配件設備。它為低溫和高溫處理應用程序提供了卓越的工藝性能、高吞吐量和多用途選項。它為熱處理要求苛刻的用戶提供了一個創新的解決方案,非常適合各種具有挑戰性的熱工程。