二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636549 待售

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ID: 293636549
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Vertical LPCVD furnace, 8" CIM: SECS, GEM Fast thermo oxidation process Stocker Wafer transfer system SMIF RCU System 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是專門為改善半導體研究和技術過程而設計的擴散爐及配件。該擴散爐是一種高規格、高性能的擴散爐,總熱預算高達200kw,設備最高溫度為1300℃。它具有突出的過程均勻性、溫度精度和控制性,強調實用性。TEL ALPHA 8SZ采用雙壁爐和水平磁化器,以提高溫度均勻性和負載。它還提供廣泛的協同處理功能,最多可同時維護四個流程,並與各種流程控制系統兼容。該擴散爐的熱源與高效的後基體灰化系統相結合,具有可選的滑動爐、預滅菌協議和單門選項。這款擴散爐的強大精度和制冷能力由一臺多步可變驅動發動機提供。這一創新提高了準確性,增加了工藝的均勻性,並確保了穩定性和高效的冷卻和加熱速率。此外,加熱器元件是一個兩帶間隙,內襯二矽化銨,提供更高的可靠性和更快的斜坡。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z還準備了一個內置映射單元,用於更好的機器控制,並配備了一個氧化保護工具,用於改進對治療者和零件的保護。這種擴散爐的溫度穩定性通過真空密封設備和防止空氣汙染物進入內室的空氣清潔功能得到提高。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ的強健控制系統幫助用戶精確監控和記錄流程數據。它具有直觀的圖形顯示和大光盤,便於檢查、集中和統一的過程,並節省了能源成本。此外,該安裝是為簡化操作設置而設計的,可減少安裝空間和能源成本。總體而言,ALPHA 8SZ是一種用途廣泛的擴散爐,提供高精度和各種特點和便利,非常適合半導體研究和技術。這種擴散爐及其相關附件提供了簡化的工藝、提高的效率和先進的可靠性。
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