二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636590 待售

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ID: 293636590
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
Diffusion furnace, 8" Process: HT02 SMIF Interface 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種擴散爐及其相關配件,用於各種半導體和光學過程。它能夠在200攝氏度至1200攝氏度的低溫下對半導體晶片和其他半導體器件進行熱處理。TEL ALPHA 8SZ的結構包括回路加載設備、分管爐、溫度控制器和排氣系統。它還包括一個低氧環境,它允許成功的氧化物擴散。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z內的環路載荷單元方便了自動晶圓載荷和高效卸載。這臺機器配備了一種特殊的空氣處理技術,以幫助晶片在進出爐子時保持冷卻。分管爐是經過ISO認證的擴散爐,能夠對晶圓的頂部和底部進行回火。溫度控制器是用來調節和維持擴散過程所需溫度的工具。除了被用於應用熱處理外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z具有輔助其他活動的特性。例如,它有一個特殊的排氣資產,在運行時減少煙霧和其他副產品。ALPHA 8 S Z還配備了原位熱重分析(TGA)能力,允許實時測量減肥。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ包括一個自動大氣控制模型,用於獲取恒定穩定的溫度、氧氣和臭氧濃度。這有助於確保不同擴散過程中所需的工藝條件。這個擴散爐由四個電源供電,占地面積小,適合多種應用。總體而言,Alpha 8S-Z是一種可靠、高效的擴散爐,帶有所有必要的附件,使半導體過程快速、高效、高效。這種擴散爐非常適合商業和工業應用。
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