二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293638474 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是TEL（TOKYO ELECTRON）生產的擴散爐及配件。它是為各種與表面擴散過程相關的應用而設計的。它是半導體制造的強大工具，可用於包括熱氧化、擴散、蒸發、塗層、激光退火等各種半導體工藝。TEL ALPHA 8SZ擴散爐可用於創造擴散過程的最佳溫度環境。爐子配有兩個高溫烤箱，最高可達1200 °C的最高溫度。精確的溫度和氣流控制允許廣泛的基板加熱和冷卻要求，使得TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z適合多種工藝，從光掩模圖樣到氧化退火。該爐還包括一個可選的低溫室，允許處理溫度敏感材料。該腔室可處理低至-10°C的溫度，可用於激光退火過程，也可用於液相外延（LPE）。TEL ALPHA 8 S Z擴散爐設計了一個用戶友好的界面，使其操作方便安全。直觀的控制面板可以用來設置高達800°C的溫度並監控爐子的狀況。圖形顯示簡化了設置和程序的導航，並提供警告和故障狀態。ALPHA 8SZ的其他功能包括許多安全功能,例如氣體關閉開關、過溫保護以及用於安全處理高溫和高壓的液氮冷卻系統。該爐還與各種測量儀器兼容，包括4口真空系統，以便高效運行。TEL Alpha 8S-Z擴散爐是半導體器件制造加工中不可或缺的工具.其先進的溫度控制、安全特性和廣泛的用途範圍使其成為現代半導體工業的理想工具。