二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584 待售
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ID: 293642584
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種擴散爐及相關配件，設計用於半導體研究和生產。它能夠承受高達1000 °C的高溫，使底物能夠用於蒸氣沈積等先進工藝。該8S-Z包括一個先進的反應室設計，允許最優氣流和溫度均勻性。該8S-Z非常適合集成電路生產、微制造、MEMS等多個領域的先進研究。它在快速退火和低溫摻雜方面提供卓越的性能。該8S-Z的特點是對反應室壓力進行五級控制，從而能夠精確控制工藝參數。它有一個頂裝門，使用戶可以方便地將基板直接裝入主室。TEL ALPHA 8SZ提供了一套全面的附件,用戶可以根據需要使用這些附件。其中包括一個轉運裝載機、航天飛機和籃子，以及一個具有特殊風扇和冷空氣設備的冷卻器Quench組件。這使得爐在加工過程中保持冷卻，防止對系統、基板和用戶設備的損壞。該8S-Z還提供了一個二級計算機控制單元（CCS）。這臺機器使用戶能夠非常精確地監控和編程爐子參數。它還包括在檢測到異常情況時自動關閉爐子的安全特性。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z是一種中端擴散爐，具有出色的溫度控制和均勻性，以及可靠的安全特性。它擁有多種配件，非常適合半導體生產、微制造等領域的先進研究。
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