二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704451 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種擴散爐及附件，設計用於精確控制擴散過程中的溫度，以安全準確地制造半導體。該設備非常適合半導體加工、薄膜沈積和退火應用。它有一個熱隔離的工藝管、一個界面控制單元和一個集成的高級光學溫度測量設備。接口控制單元有四個獨立的可編程程序，用於各種工藝，還監控爐子的狀態。集成的先進光學溫度測量系統能夠高精度地測量加工管的溫度，可以根據讀數編程來調節爐的溫度。TEL ALPHA 8SZ能夠在高達1350°C的溫度下運行，使用兩級石英管，並配有氧化鋁絕緣板。這種保溫板能夠保持樣品晶片之間的熱量，防止管子過熱，從而造成不良情況。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z單元也具有多區能力，最多六個控制區，最多14個晶圓源。它設計為具有手動鎖定功能,可防止在緊急情況下進入加工室。它還具有閉環控制機、溫升計時器、電源故障保護等一些先進功能。閉環控制工具與爐控制器配合工作，有助於根據配方的編程輪廓調節溫度。溫度升高計時器有助於設置過程進行的最高溫度設置。最後，電力故障保護有助於確保在電力中斷時爐子繼續運轉。Alpha 8S-Z是一種易於操作的資產,具有易於讀取的顯示屏。它還配備了一個直觀的控制模型，方便地控制每個過程。控制應用程序允許用戶設置不同級別的控制,並允許他們逐步監視過程。設備也非常可靠，具有廣泛的安全功能，可以保護系統免受損壞。
還沒有評論