二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是專門為加工晶圓而建造的擴散爐。它旨在實現最高的生產效率水平,對節能的影響較小,同時確保出色的過程控制和一致性。該8S-Z為氧化物-氧化物膜、氧化物薄膜、多晶矽蝕刻、氮化物加工等相關材料的清潔工藝提供了強大的熱源和最佳氣氛。該機裝有一根長1.8米、寬0.3米的石英管，裝有8S-Z的熱區。這個熱區的隔離墻提供最高1250攝氏度的溫度範圍。該機器還裝有TEL-ATOS，這是一種專有軟件，控制熱區內的溫度以及石英管道底部的熱電偶。這確保了一個統一和可重復的擴散過程。機器還裝有三個獨立的加熱器，它們是自校準的。在較大的表面積上有效控制熱區溫度，保證擴散過程的均勻性。機器還設計了改進的自動偏移機構，減少了偏移時間，同時讓更多的時間集中在過程上。它的C型結構允許在增加壓力能力的情況下提高均勻性,並改善訪問,從而實現快速、精確的薄膜工藝。該8S-Z還有一個集成的自動化和監控設備（AMS），它允許對具有相同控制系統的多臺機器進行高效控制。這有助於最大限度地提高擴散過程的效率和吞吐量。此單元允許基於警報的進程狀態報告。機器還可以檢測任何異常情況，並向操作員發送警報。該8S-Z還配備了預防性維護和數據記錄功能,有助於減少停機時間並確保高效的流程控制。這使得機器易於維護，能夠準確監控和檢測任何潛在問題。該8S-Z還采用了雙壁框架，以改進隔熱。這樣可以降低功耗,同時提供剛體支持和安全操作。此功能還有助於降低噪音和振動水平,使使用機器更加舒適。總體而言，TEL ALPHA 8SZ是一種最先進的擴散爐，能夠有效地處理各類晶圓加工任務。它非常可靠，具有集成的控制系統和提供最佳過程控制和統一的多種功能。
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