二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種擴散爐和配件，用於制造高度先進的集成電路（IC）。TEL ALPHA 8SZ采用集成頂端加載機器人，設計用於快速、精確的晶片加載和卸載。這種高效的工具可提高吞吐量,降低汙染和中斷的可能性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z為未來的IC開發提供了靈活的容量，因為它配備了上下加熱爐以提高溫度均勻性。擴散爐本身采用先進技術建造，包括精密加熱器、能量再生設備（ERS）和差分熱流控制。ERS系統旨在降低功耗和提高能效,而差分熱流控制單元則提供更均勻的晶圓加熱和冷卻,以減少非均勻性並提高吞吐量。ALPHA 8 S-Z還具有多氣體註入能力，允許各種氣體的集成。這些氣體可以註入到廣泛的溫度範圍內，可以從多個點引入，以增強擴散過程的均勻性。均勻的氣流機也改善了溫度均勻性，確保氣體均勻輸送，不會發生任何振蕩或湍流。最後，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z有一個350毫米晶圓處理工具，結合了機械和氣動處理。機械和氣動處理設備最大限度地減少了晶片加載/卸載引起的振動，從而減少了在基板傳輸步驟中可能發生的扭曲。處理模型的另一個好處是它允許優化材料輸出處理。簡而言之，ALPHA 8SZ是一種擴散爐及附件，為高通量IC制造的最高效率提供卓越的性能、精確的溫度水平和改進的氣體註入。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z卓越的溫度均勻性、改進的氣體註入以及先進的運動控制，使其成為尋求生產最先進集成電路的半導體器件制造商的理想工具。