二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759915 待售
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ID: 293759915
Furnace, 8"
Process: NITDE Deposition
CIM: SECS
SMIF
Wafer transfer robot
Does not include Quartzware / SIC
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是為最佳效率和可靠性而設計的擴散爐及附件。配備自動氣流控制設備,在擴散過程中提供整個晶圓表面的均勻溫度分布。它還利用一種特殊的先進屏蔽系統來防止散氣的發生和汙染晶片。TEL ALPHA 8SZ提供多種功能,以確保操作簡單可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z有一個大的、方形的腔室,利用兩級的過程進行高速的溫度斜坡上升和冷卻速率。腔室配有先進的氣流控制裝置,確保氣體分布均勻,防止排氣發生,保護晶片不受汙染。而且,爐子的溫度設置範圍很廣,從0攝氏度到1000攝氏度。它還配備了高精度的溫度控制機,以實現整個晶片表面的最佳熱分布。擴散爐還配備了一大堆配件,如溫度控制工具、幾個氣源、溫度記錄裝置、冷卻資產、安全特性以及許多其他特點。它還帶有氣體分配模型和先進的冷卻機構,以確保溫度均勻分布在整個腔室。腔室還有一個先進的洗滌器,在擴散過程中的任何副產物空降並進入晶片之前清洗它們。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z是精密擴散過程的強大工具。它不僅在整個晶片表面提供了可靠、均勻的溫度,而且對腔室的加熱和冷卻也有很高的速度。與爐子捆綁在一起的配件還可以方便高效地操作設備。特性的結合使得ALPHA 8 S-Z成為各種具有挑戰性的擴散過程的理想工具。
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