二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794324 待售
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ID: 293794324
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
LPCVD System, 8"
Factory Interface: (2) SMIF
CIM: SEC / GEM
Process: D-Poly
(2) Handler systems
Does not include:
Chiller
Pump
1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種高品質的擴散爐及相關配件。這一先進設備旨在為復合半導體和其他材料提供最高質量的退火和擴散工藝。TEL ALPHA 8SZ也可用於幹燥和其他熱操作。該系統配備了900°C至1150°C的高溫操作範圍,適合廣泛的應用和材料。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有先進的輻射加熱器設計,可提高效率和均勻性,提高工藝產量。該機組還擁有一臺特殊的高性能供氣機,保證了高精度和重復性。供氣工具允許以一致的速率向擴散爐供應多層氣體,從而實現精確的退火過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ還提供多種安全功能。該資產采用特殊的排氣模型和一系列檢測氣體泄漏和超溫條件的警報設計。這樣可以確保始終保持安全。TEL ALPHA 8 S-Z是用於擴散和退火過程的高級高性能設備,可提供可靠、一致的結果。該系統具有改進效率、安全性和可重復性的高級功能。
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