二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794329 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種擴散爐及配件設備，設計用於體積裝置生產。它采用模塊化設計,確保了更高的批量生產率。該系統采用8燒杯船，允許真正垂直提升晶圓，從而實現更好的工藝均勻性，從而在較小的區域內提高吞吐量。該模型適用於沈積、擴散、氧化、氮化物、植入物和植入物年鑒等應用。TEL ALPHA-8S提供由TEL GEMINI控制機器提供動力的高性能自動化控制單元。它具有8步、多步的配方輸入,可有效地優化過程時間、產量和統一性。TOKYO ELECTRON GEMINI控制工具還具有單獨的腔室監控資產，能夠對溫度、壓力、速度和其他變量進行更精確、實時的控制。自動控制模型保證了過程的準確性和可重復性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S還提供各種各樣的原位監測和測量技術，包括電氣特性、等離子體表面造型和條帶映射。這些技術使用戶可以更好地控制其工藝參數,並取得優異的效果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S利用真空設備進行高效的疏散和排氣，氣體和真空系統既完全集成又自動化。TEL ALPHA-8 S提供了豐富的外圍設備選項,例如負載鎖定和機器人技術以及軟件解決方案,以進一步優化過程控制和監控。負載鎖提供了一個可控的環境，使晶片能夠順利地往返於擴散爐，而機器人技術則允許快速和安全的晶片處理。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還配備了直觀的圖形用戶界面（GUI）和數據采集軟件，旨在最大限度地提高用戶效率，最大限度地減少用戶錯誤。ALPHA 8 S還具有先進的冷卻系統，通過快速冷卻晶片來避免晶片損壞。冷卻裝置可以調整，以滿足工藝的具體需要。此外,ALPHA-8S還能夠完全自動化數據的加載、卸載和解釋,以確保產品的質量。最後，Alpha 8S同時帶有一個腔室和一個高溫石英密封，這是設計給改善腔室環境，產品質量，和過程的重復性。