二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293806493 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種配有水平分裂雙室的擴散爐，設計用於先進的薄膜應用，如與制造半導體器件相關的應用。擴散爐進一步配備了底切和圓邊重新設計，將溫度控制在1°C ±以內，適合薄膜沈積過程。TEL ALPHA 8SZ配備了優化的空氣循環設備，確保整個腔室內的溫度保持均勻穩定。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z爐還配備了雙棒空氣離合器系統，可確保晶片的裝卸均勻性，以及大容量樣品盒，可容納多達52個晶片。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ的標準附件是遙控監視器、CCD圖像處理器和廢氣監視器。利用CCD圖像處理器可以精確監測溫度，因此該監視器可用於改善爐子的運行。而廢氣監測儀則可用於測量廢氣的流量、濃度和氣體總量。TEL Alpha 8S-Z還配備了一個內置遠程監控單元，可確保爐子隨時運行，即使用戶遠離該位置。此外，為了確保安全，阿爾法8S-Z裝有電離器、排氣過濾器和沖洗排氣機。電離器清除灰塵顆粒，而排氣過濾器則防止汙染物堆積在排氣管中。最後，沖洗排氣工具防止可燃氣體在爐內堆積，從而導致爆炸。除了這些特性外，ALPHA 8 S-Z還附有安全鎖資產，以保證用戶的安全。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種先進的薄膜沈積爐，具有水平分割雙室、優化的空氣循環模型、雙桿空氣離合器設備、內置遠程監控系統以及多種配件，為用戶提供了出色的性能和安全性。