二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種用於精確樣品制備和分析的擴散爐及其附件。這種設備使用戶能夠準確地準備和執行各種薄膜沈積、退火和摻雜過程。該系統非常適合生產、研發、研究和實驗應用。TEL ALPHA 8SZ包括一個主機和一個裝載室。大型機配備了一個8英寸的晶圓Transfer-ELock，既兼容卡帶對卡帶，又兼容負載鎖定對負載鎖定操作，從而能夠快速方便的樣品準備。此外，主機還包括一臺專門設計的高頻射頻發電機、垂直安裝的供氧裝置、供氮機和排氣工具。載荷鎖定室的設計旨在確保真空前室、主室和真空後室之間的可靠樣品轉移，從而保護晶片表面不受任何汙染。它配備了一個24端口的背面Vent- ELock，可以用來將晶圓傳遞到/從大型機。腔室還包含一個等離子體源，可以用來清潔晶圓表面。Vent- ELock還提供熱電偶支持的溫度測量。晶圓處理資產為薄膜沈積、退火和摻雜應用提供了多種工藝。熱法和等離子體法均可用於沈積、退火和摻雜。熱過程可以使用多種氣體，包括氮氣、氙氣、氧氣、氫氣和氨。自動熱處理控制可確保實現最高質量的薄膜沈積。該模型還可用於高達1000 °C的熱退火，並配備了不同的爐選項，從而實現了廣泛的退火溫度和相對壓力。此外，該設備還配備了晶圓電極和加熱氣體疏散裝置，用於先進的晶圓摻雜工藝。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z提供高通量操作、可靠的樣品傳遞、出色的過程控制。是滿足薄膜沈積、退火、摻雜工藝最苛刻要求的高性能系統。