二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9239924 待售
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ID: 9239924
優質的: 2000
Furnace
Polyimide cure
Quartz heater, P/N: 2187-323602-1C
PSU and UPS
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種用於生產半導體電路的擴散爐及配件。它設計用於退火、氧化、蝕刻和其他需要高溫的工藝。TEL ALPHA 8SZ采用頂裝設計，並配有用於控制爐內大氣的集成設備，使其適合廣泛應用。此外，擴散爐由於具有先進的安全特性，包括雙燃燒器、臭氧破壞系統和受保護的真空閥，因此極為可靠。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z設計用於處理直徑為300 mm的晶片。它帶有兩個級別的加熱器，高溫區（HTZ）和低溫區（LTZ）。HTZ的最高溫度為1700 °C，整個晶圓的平均均勻度為± 1°C。LTZ用於開發過程，最高溫度為800 °C。HTZ和LTZ的溫度控制精度為0.1°C。Alpha 8S-Z配備了先進的PID（比例積分導數）控制器，以確保高度精確的溫度控制。完全可編程的控制器使用智能用戶界面和視覺警報，讓用戶隨時了解過程。此外，該爐可通過遠程監控單元進行遠程操作，並用於多個批處理過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z也配備了集成式單桌帶內轉機。這使得基材能夠快速有效地進出爐子。該刀具采用行進夾板設計，以實現最佳的裝卸。這樣可以確保基板在裝載、冷卻和退火過程之間安全運輸。TEL ALPHA 8S Z型擴散爐利用先進的幹式真空泵技術，提供高的工藝重復性和優異的工藝質量。該爐為LTZ和HTZ段配備了獨立的幹式真空泵，對真空條件提供了更大的控制。此外，TEL ALPHA 8 S-Z利用先進的臭氧破壞技術減少了工藝大氣中的臭氧量。該技術以陶瓷臭氧破壞催化劑為基礎，有助於降低加工後晶片中臭氧汙染的風險。總體而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZ是一種先進的擴散爐，設計可靠，易於使用。它針對高溫和低溫下的各種工藝進行了優化，並配備了幹式真空泵、臭氧銷毀技術和內部轉移資產等功能，以確保更大的用戶便利和更高的工藝質量。
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