二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281891 待售

ID: 9281891
優質的: 1996
Furnace 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種用於半導體芯片加工的擴散爐。這個爐是一個幹蝕刻設備的一部分,用於蝕刻芯片的矽基板。TEL ALPHA 8SZ具有革命性的加熱設計,可達到19,000攝氏度的溫度。還配備了高分辨率CCD攝像頭,實時監控過程。此外,該爐還具有自動調平裝置和集成的EMI屏蔽裝置,用於精確的溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有一個大的內室,可以容納尺寸超過8英寸的基板。該室由熔融石英構成,旨在最大限度地提高蝕刻和擴散效率。該爐還配備了能夠達到芯片處理所需高溫的高性能加熱系統。該單元以隔熱陶瓷覆蓋的熱室為基礎,有助於確保室內溫度分布均勻。此外,該機器還配備了安全過載保護,以防止過熱和其他與安全相關的問題。為確保精確一致的蝕刻,TEL ALPHA 8 S-Z配備了先進的粒子輸送工具。這一資產能夠準確、一致地引入所需的蝕刻氣體。該模型包括掃描電子顯微鏡(SEM)以確保精確的粒子遞送。此外,該爐還配備了多種配件,以提高蝕刻和擴散工藝的效率。ALPHA 8 S Z也可用於缺陷分析和補丁級修復,以及用於測試完成的硬件。為確保完全精度,爐子配有集成光學顯微鏡,提供高分辨率的視覺效果。此外,該腔室設計為減少射頻幹擾,並配有電磁幹擾屏蔽,以進一步降低噪聲。總體而言,TEL Alpha 8S-Z是一種用於芯片加工的先進擴散爐。它提供了一個隔熱陶瓷覆蓋的熱室和先進的顆粒輸送設備,以確保精確和高效的蝕刻和擴散。此外,該爐還配備了用於實時觀測的高分辨率CCD攝像頭,以及各種用於提高精度和性能的配件。
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