二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一種先進的工具，為各種應用提供高性能的擴散和氧化爐，例如半導體器件制造。該爐有一個由高真空室包圍的內室，能夠達到2500 °C的最高溫度。配備等離子源、廢氣裝置、零空氣泄漏設備。該爐具有8區控制能力，每個區有一個原位可調功率設置，允許統一或選擇性處理。它還配備了用於晶片的裝載機和卸載機，以及用於自動裝卸的8口袋分銷商。TEL ALPHA 8SZ擴散爐還包括多種使其能夠執行不同類型工藝的配件，如PECVD（等離子體增強化學氣相沈積）、濺射和外延生長。這些配件包括一個可用於清潔、預熱、退火和其他熱處理的預處理室，以及一個冷卻室，用於在加工後將晶片降低至室溫。它還有一個晶圓探頭和一個溫度傳感器，用於控制均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z的設計具有高度的安全性，因為它配備了熱極限開關和氣體關閉閥，以防止溫度超過設定的水平時損壞。它還具有輻射和火焰防護能力。該爐還具有很高的精確度，因為它利用超溫度傳感器來監測室內溫度是否均勻，並利用大氣壓力計來調節氣體壓力。該系統具有用於監控過程參數的集成單元控制中心軟件。Alpha 8S-Z是一款功能強大且可靠的機器,旨在滿足高級擴散和氧化方法的需求,而且用戶友好,具有直觀的軟件和各種安全功能。它是生產高質量、多種應用的理想選擇。