二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281905 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z擴散爐是一種創新、可靠的熱處理設備，用於先進材料的精密處理。該機設計用於金屬基板的高效、精確熱處理，包括氧化和沈積。該爐具有兩個可互換的腔室，一個獨特的一推裝卸設備，以及一個完美平衡的溫度均勻性的精密控制系統。TEL ALPHA 8SZ爐由外殼組成，外殼由不銹鋼結構組成，並用絕緣材料密封。這種結構確保了高度的可靠性和耐用性。兩個可互換的腔室以獨特的設計提供多用途操作，允許在同一載荷內對多種基板進行相同的熱處理。外殼還設有兩個1.2mm厚的石英窗，允許通過紅外熱成像進行均勻準確的溫度測量。獨特的單推載荷/卸載單元通過允許在同一腔室內不受幹擾地快速輕松地裝卸基板，提高了生產率。基板放置在耐熱托盤中，並通過槽推入爐中。此功能可在最少的處理時間內實現可重現的熱處理。精密的控制機器利用高性能傳感器確保整個爐子的溫度均勻。該工具能夠響應快速的溫度變化並保持一致的溫度。可調氣體流量和可調氣體壓力有助於在整個爐子內實現高度精確的溫度均勻性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z擴散爐是需要精確控制溫度均勻性的熱處理操作的理想選擇。其強大的特點和可靠的結構保證了卓越的溫度均勻性，提高了生產率，提高了熱處理質量和精度。