二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9297064 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SCN擴散爐及其附件可用於一系列半導體和MEMS裝置的制造過程。該設備能夠準確、精確地控制室內的時間、溫度和大氣，以獲得最佳的工藝效果。它能夠達到高達1280°C的溫度,並為低溫、快速熱退火（RTA）和高溫功能提供多種選擇。TEL Alpha 8SCN提供了一個單點觸摸、用戶友好的HMI （Human Machine Interface, Human Machine Interface）,它簡化了操作,並具有快速的低溫坡度能力,可實現無與倫比的吞吐量和工藝優化。爐內溫度分布均勻，使得過程均勻性很小。這種均勻的溫度分布是以高效的方式實現的，使得系統的使用成本比許多類似的系統要低。該單元配有多種附件，以確保安全、精確和可重復的測量，如一個持續監測室內氧氣水平的原位氧氣測量機（FIMOS-2）。此外,集成的IT解決方案（如Coater ERDR （Edge Retention Device）和ECLIPSE數據采集工具）允許對工藝參數進行實時分析。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SCN的設計具有很大的內部容量，允許將基板加載到芯片載體中，然後通過晶圓盒式振動器將其加載到熔爐中。其他標準功能包括電子壓力閥、通過倒置閥門防止基板損耗的快門安全功能、自動冷卻風扇和低噪聲環境資產。這樣可以確保長時間安全高效地運行。Alpha 8SCN是當今許多半導體和MEMS應用的理想機器,它采用高級功能進行設計,以確保獲得最高質量的結果。其精確的溫度控制、快速的斜坡速率能力、實時的測量和分析以及集成的IT解決方案，使其成為許多技術流程的可靠和高效的選擇。
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