二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #293776298 待售
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單擊可縮放
ID: 293776298
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Furnace, 6"-8"
Process: O2 Anneal, dry oxide
(5) Zone heaters
Wafer shape: SNNF
Wafer cassette: Plastic, 8"
(150) Product wafers
Gas capabilities: N2, O2
Paddle control thermocouple
Place of control T/C: Between outer tube and inner tube
TS4000Z System controller
Reserved batch operation
(5) End effectors
Maximum temperature: 1100°C
No SMIF Interface
No N2 Load lock
No boat rotation
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZA擴散爐是半導體工業的革命性產品。它具有先進的工藝控制特性和先進的特性，非常適合生產可靠和高性能的零件。TEL Alpha 8S-ZA是一種臥式爐，由先進的氧化鋁纖維絕緣材料制成，具有超精密的圖案室，非常適合批量生產復雜的。該設備包括用於增強溫度控制的加熱壓力室、使用石墨高頻感應功率的中斷徑向加熱以及用於最佳熱控制的獨特加熱室。此外，爐子還配有15英寸觸摸液晶顯示屏和PC接口，便於操作和控制。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA的石墨高頻感應功率可達到800W功率,通過使用藍牙數據傳輸到達偏遠地區,實現精確甚至加熱覆蓋。加熱的壓力室和中斷的徑向加熱使爐子能在短時間內以高溫穩定保持所需的溫度。ALPHA-8S-ZA還具有快速、方便的清潔功能，這要歸功於它的兩級凈化系統。第一層是惰性氣體大氣--特別是惰性的氙氣大氣--安全地清除爐內殘留的汙染物。第二層是真空系統，以及化學汽化系統，幫助保持內部部分清潔，不受任何冷凝物的影響。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA Diffusion Furnace是高度可定制的，附有氮化物、化學氣相沈積（CVD）、金屬密封爐等附加配件。可靠、一致、有效，提供精準出色的熱控制，同時減少生產時間40%。這款設備以其先進的特點受到業界的廣泛贊譽，使其成為半導體生產的理想選擇。
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