二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #9227420 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZA是一種值得信賴的用於半導體制造的擴散爐及配件。其獨特的設計賦予用戶快速準確地為計算機芯片等制造矽基片的能力。在這臺機器的內部是一個能夠保持接近完美真空條件的腔室,使摻雜元素擴散到基板上。它包括退火室,並設有電子批處理系統(EBS),便於室內通量、溫度和壓力同步。用於創造所需條件的真空是通過熱泵和化學泵的組合來實現的。具體來說,擴散爐使用油擴散泵和冷凍泵從系統中去除固體和氣體的分壓。TEL Alpha 8S-ZA獨特的設計讓它的用戶可以一次運行多個進程,同時始終保持統一的溫度。它在晶片處理過程中的全高精度校準儀器有助於最大限度地減少任何未對準問題。因此,該爐提供了對整個光刻工藝的優越控制,能夠達到最佳的表面和整體端接。該產品的其他特點包括先進的基板冷卻系統,強大的等離子體源,能夠同時沈積和蝕刻多層,以及快速和方便的維護。這種擴散爐的設計既可靠又節能。它易於使用的接口也大大減少了執行任何給定進程所需的時間。東京電子ALPHA-8S-ZA是任何需要可靠高效擴散爐的應用的絕佳選擇。它非常適合半導體研究、元件制造和技術開發。其精確可靠的操作贏得了業內眾多人士的認可。ALPHA-8S-ZA的質量元件、最先進的精密儀表和先進的系統特點使其成為任何高水平擴散爐項目的絕佳選擇。
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