二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN #9227413 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN
ID: 9227413
晶圓大小: 8"
VF Field oxide systems, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZAN 9"擴散爐是為半導體和MEMS加工而設計的強大耐用的工具。其獨特的設計提供了卓越的均勻性、穩定性以及所有工藝目標的統一溫度控制。它有一個卓越的過程控制設備,確保準確和可重復的結果。TEL Alpha 8S ZAN 9"具有石英襯裏的分體式載荷室和強大的三區加熱系統。三區供熱單元由兩個水平區和一個垂直區組成。水平區域提供更均勻的溫度,而垂直區域提供更精確的溫度控制。其石英襯裏分體式載荷室有助於減少鉛損失,提高產品質量。它還有一個大的工作區域,允許更大的晶圓和更大數量的芯片進行處理。此外,它還具有快速更換的鐘形熱熔器,可方便地從一個區域切換到另一個區域。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9"擴散爐具有自動和手動控制功能,可精確控制所有工藝參數。它的溫度穩定和精度也是一流的。它的數字PID控制器允許精確控制溫度到最近的0.1°C。腔室溫度可從1 °C調整至1200 °C,上層區域溫度可從200 °C調整至1200 °C。可用於處理多種材料,包括矽、復合半導體、氮化物和氧化物。TEL ALPHA 8S-ZAN 9"擴散爐還配備了便於安裝和操作的用戶友好特性。它具有易於調節的艙壁以允許快速的鑄錠定位,這反過來又有利於順利的散裝過程。它還擁有先進的電氣安全機器,以保護用戶免受任何沖擊或電氣危害。其堅固耐用的元件使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9"擴散爐成為任何加工環境的絕佳選擇。它的效率和優越的性能使得阿爾法8S ZAN 9"擴散爐成為MEMS和半導體加工的絕佳選擇。其可靠高效的操作和精確的溫度控制提供了優異的效果,其快速變化的鐘形熱熔器使得操作無憂。最後,它的用戶友好功能確保任何技能級別的用戶都能有效地操作它。
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