二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #293625746 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZV擴散爐是為半導體晶片等材料的高級熱處理而設計的高性能儀器。它是一個單室單元，具有先進的象限旋風擴散設備。該爐采用集成的高級Versa-Sil引擎蓋，旨在最大限度地減少空氣湍流，減少與傳統引擎蓋設計相關的沈積變化。這種擴散爐能夠處理尺寸不超過200毫米或8英寸、厚度不超過10毫米的晶片。它采用先進的Z形目標對接系統，將晶片牢固地裝入石英室。該單元可確保晶片在熱控制器期間保持穩固的位置,並精確地暴露在高達1200 °C的熱均勻性下。TEL ALPHA-8S-ZV擴散爐還包括一臺先進的送粉機，在粉末沈積到晶片上時提供了極好的控制和精度。本機還配備了自動溫度控制器，對工藝的每個階段進行溫度調節，以保持腔室內穩定的熱環境。為維持熱處理，這些控制器還可用於精確監測腔室溫度，必要時啟動熱控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV擴散爐還具有自動鎖載和排氣工具.這樣可以確保晶片加工過程中的氣體環境受到控制和安全。此外，這一資產的設計目的是在室內提供一個小於5 x 10-7 torr的真空水平。這種擴散爐的整個過程通過其先進的車載計算機得到進一步的便利，這種計算機可以被編程為使過程的某些參數自動化。通過此計算機,用戶可以設置沈積速率、檢查熱環境,以及監視和控制與模型關聯的任何其他進程。總體而言，TEL Alpha 8S-ZV擴散爐是一種先進、可靠、嚴密的半導體材料高精度熱處理控制設備。利用其自動化系統和先進的象限旋風擴散技術，用戶可以確信他們的晶片和材料正在接受可靠、一致和準確的熱處理。