二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9227412 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZV是為生產先進半導體器件而設計的帶有配件的擴散爐。設備由平臺基座和上面的石墨敏感器組成。在基座的兩側，有兩個馬達向上和向下提升磁感器。磁感器呈圓形形狀，允許晶圓上均勻加熱。它利用強制空氣循環來確保整個表面積的溫度相等。此外，該系統還配有一個光學高溫計，用於測量溫度和控制感應器的加熱和冷卻速率。TEL ALPHA-8S-ZV有一個可容納多達20個晶圓的大工藝室。為了保護設備免受外部汙染物的汙染，它有一個特殊的密封機到位。這種密封工具確保晶片保持清潔和無灰塵顆粒，允許精確的制造過程。此外，它的溫度範圍高達1100 °C，允許各種蝕刻和退火過程。該資產還配備了自動清潔循環，可以定期進行，以進一步減少汙染晶片的機會。為確保操作過程中的安全,TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV帶有互鎖模型。此功能用於防止在蓋子打開時意外激活爐子,從而保護用戶免受任何潛在傷害。爐蓋內的熔融二氧化矽窗允許在加熱過程中對晶片進行目視監控。該擴散爐還具有多項前沿特點，以減少功耗和排放。雖然大多數系統使用純氮作為載氣，但TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZV利用了氧氣、氙氣和環氧化氙等氣體的組合。這會減少汙染物,並將操作所需的能量降至最低。此外，該設備的設計是為了在工藝和排氣室中保持均勻的溫度曲線。這阻止了熱點的突破，導致產量和質量的提高。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S ZV是半導體工業中使用的領先擴散爐之一。它提供了一個可靠和先進的系統，能夠產生一些最先進的技術可用。憑借其安全特性、低排放、出色的溫度控制，是任何希望以可靠生產實現利潤最大化的企業的理想選擇。