二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN是一種擴散爐及配件，用於制造矽片上的整體集成電路。這臺機器提供多達12個可獨立編程的工藝管，能夠執行各種氣相工藝，包括熱氧化物、氮化物、摻雜氧化物和摻雜劑驅動。TEL ALPHA-8S-ZVN配備石英管室,提供卓越的熱性能,能夠實現超過1200°C的超高溫,並具有精確的溫度控制。為保證擴散過程的精確均勻性，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN上的每根管子都配備了精確的雙區溫度控制系統，具有獨立區溫度、預熱、坡道上升和降溫溫度設置。這提供了高度的均勻性和可重復性，允許精確的制造過程。Alpha 8S-ZVN還安裝了自動氧化劑生成系統，該系統能夠準確、一致地保持擴散室內的氧濃度，從而使晶圓上的氧化物厚度均勻。該機器還配備了一個獨特的啟用RFID的晶片加載子系統，在整個擴散過程中安全地標記和跟蹤每個晶片，從而方便復制，加快晶片加載時間。TEL Alpha 8S-ZVN還能夠執行一系列標準的摻雜劑驅動過程，包括砷和磷。在這些過程中，機器的設計能夠產生氮氣或氙氣/氫氣混合物，從而實現更安全和更高效的摻雜劑驅動。該機還提供了一系列的後驅動和清理選項，包括同時乙烯基三甲氧基矽烷（VTMS）和氙/氫等離子體。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN是一種高度可靠和精確的擴散爐及配件，非常適合制造高密度單片集成電路。它具有眾多的安全特性，可靠的溫度控制系統和自動晶片加載子系統，是制造先進集成電路的有力工具。