二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227416 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN是一種專門用於半導體器件制造的擴散爐。該擴散爐設計用於高通量和提高生產率,溫度範圍從150°C到1000°C。它由石英管室、擴散特性和集成工藝室構成，以確保最小的熱損耗。TEL ALPHA-8S-ZVN擴散爐配備高效鹵素燈光源和高精度八區高溫計，精確監控加工管內溫度。它與改進的保護性氣體系統和獨特的氣體熱循環相結合，降低了能耗，同時提高了可靠性和安全性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVN為均勻加熱提供了改進的冷卻循環和快速加熱過程。TEL ALPHA 8S ZVN擴散爐還具有獨特、先進的控制機制，利用AI優化晶圓溫度，提高工藝均勻性。此功能還有助於縮短熱循環時間,並在整個擴散過程中保持所需的溫度穩定性。此外,ALPHA 8S ZVN采用增強的配方系統來優化擴散配方。此外，該爐還采用7.0英寸彩色液晶觸摸屏，為操作員提供友好的界面，利用當前和歷史工藝數據提供出色的工藝能見度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZVN是參與製造Flash記憶體、D-RAM和Logic IC等複雜且專門的半導體器件的理想解決方案。具體來說，擴散爐適用於CMOS、IFerrite、Flash MOS內存、SiGe HBT、SiGeCGFET、GaN HBT工藝等一系列實現。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZVN高度可靠,結構耐用,可承受惡劣的加工環境。總體而言，ALPHA-8S-ZVN是一種先進的擴散爐，旨在提供高溫、高通量的熱處理，提高均勻性和工藝產量。該爐配備了先進的特性和控制，旨在確保全面高效的半導體器件制造工藝。