二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190768 待售
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已售出
ID: 190768
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Diffusion furnace, 8"
Specifications:
- AP-FTP oxidation current configuration (Tunnel Ox)
- “Thin” oxide
- Atmospheric torch
- 50 production wafers load size
- Boat rotation
- H2 detection and digital gas monitor
- 72.4 KVA transformers
Gas System
- House N2 2x
- UHP N2 (cylinder) 1x
- Argon
- O2
- H2
- HCl
General
- Wafer type: Notch type
- Signal tower: 3 color (RYG)
- I/O Type
- AGV compatibility: none
- Rapid cooling unit: use
- Load lock system: None
- Production wafer qty: max 150 wafer/batch
Controller and Software
- HD version: WAVES V2.48 R007[S801FE-0005]
- Release date: 2006/6/27
- HDD Capacity: 4.3 GB
Power
- Heater: 50/60Hz, 480V, 3Ph
- Controller: 50/60Hz, 208V, 1Ph
- Pump: none
Controllers
- Main system controller: WAVES, with back remote
- Temperature controller: Model-560
- Pressure controller: Model-none
- Mecha controller: T-BAWL
- Burn controller: HEC Pyro controller
- MFC controller: Model-none
MFC1 Tylan Ar 30SLM
MFC2 Tylan O2 10SLM
MFC3 Tylan O2 30SLM
MFC4 Tylan O2 10SLM
MFC5 Tylan O2 3SLM
MFC6 Tylan H2 10SLM
MFC7 Tylan H2 3SLM
MFC8 Tylan HCl 3SLM
MFC9 Tylan N2 30SLM
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種先進的擴散爐，旨在在高溫過程中提供更高的控制水平和精度。它具有高度耐用的設計和結構,具有先進的電源和控制器,可實現多種基板尺寸和形狀的精確結果。TEL ALPHA-8S提供卓越的溫度均勻性,非常適合用於半導體制造過程,如氧化物沈積,或用於設備原型設計,包括MEMS/NEMS。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S的關鍵特徵是其Dual Hot Zone設備，提供兩種可獨立調節的加熱元件，以達到最高性能和溫度均勻性。每個加熱區的溫度可以精確控制和監測，從而實現精確和可重復的過程結果。熱區封閉在惰性大氣中，在爐膛內提供穩定的熱環境，防止汙染和氧化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S具有可編程的運行結束關閉功能,可確保系統在達到所需結果時停止該過程。它還有一個先進的氣動處理單元，在加工過程中牢固地固定基板，允許快速可靠的操作。爐蓋可以拆卸，以便於接觸基板，並具有安全的邊緣保護，以避免意外接觸熱表面。ALPHA-8 S還配備了強大的控制機器，允許對整個過程進行單點計算機控制。使用內置的Japan Modular Auto Programming軟件,用戶可以輕松地對任何高級處理選項和設置進行編程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還包括一個自動化晶圓轉運站，提供晶圓處理和提取能力，以提高吞吐量和重復性。它既適用於全晶片，也適用於小塊，允許有效和可靠地轉移基板。此外，ALPHA-8S還配有各種先進配件，包括氣體噴射系統、氣體頭、泵送系統和工藝監測器。這些附件允許全面的過程控制,並對擴散過程提供更大的控制。綜上所述，TEL Alpha 8S是一種先進的擴散爐，專為提供卓越的工藝控制和性能而設計。它具有許多功能和附件,以確保高效可靠的操作。
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