二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種擴散爐及配件，設計用於處理各種類型的高達300 mm的晶圓及相關元件，具有很高的穿透性能。機器提供高容量的控制、冷卻和處理能力。它包括各種特性，例如用於晶圓輸送的內部閘閥、擴散和退火室，以及用於精確監測和溫度控制的熱力計設備。TEL ALPHA-8S具有1200系列A型氣體控制系統,該系統集成到擴散室中,用於精確的溫度和氣體控制,以實現高通量、重復性和穩定性。該機配有多任務接口，可高效集成多達8種基材類型、8種工種和8種晶圓支架尺寸的作業。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S預熱泵給出準確的氧化物生長控制，五個蒸發器棒閥給出功率傾斜和功率控制穩定性。壓力監測能力允許對各種零件進行多達200 torr的壓力控制，以達到最佳摻雜深度。此外,封裝的cOOLPOD還提高了溫度曲線的重復性。TEL Alpha 8S精細調諧的幹泵單元允許每小時300個基板的吞吐量,其與Ewafer Applications Suite的接口允許軟件控制和遠程診斷。該機還配備了全面門，在腔室內提供均勻的熱量分配，並經認證可運行多種基板，並可根據需要安裝額外的晶片支架。集成的熱力計測機設計用於檢測溫度變化，實現精密處理，並確保在各種基板上的可重復性。內置的數據記錄功能可方便地捕獲數據,從而實現高效的流程開發。它的自動化設計是靈活的，從而允許優化晶圓工藝配方的創建和全晶圓跟蹤。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S提供了一個高效率的工具來處理大量高達300 mm的底物。Alpha 8S結合了集成氣體控制資產、高效的作業集成和自動化、精確的熱力計和幹泵系統以及有效的數據捕獲和跟蹤等功能,為各種擴散處理和退火應用提供了最佳解決方案。