二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293627956 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一種多區擴散爐，旨在方便各類擴散爐。它旨在幫助簡化生產流程，提高現代生產線的效率。可用於進行退火、預擴散、反應、熱氧化、雜質擴散等CVD/PVD工藝。TEL ALPHA-8S是一個多區擴散爐，經過設計，以降低生產成本，同時提高速度和質量。該爐由微處理器控制的溫度穩定反應室和最新的可編程精密氣體輸送組件組成。強大的構建可確保最高級別的正常運行時間、可靠性和可重復性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S'室的最高溫度範圍為300°C至1150°C（以1°C增量），允許所有類型的擴散過程。它還具有獨特的、可轉動的晶片船，方便晶片和基板的裝卸。再者，該爐具有由反應室溫度控制的高效惰性氣體循環設備。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S還配備了許多旨在提高效率的配件和選項。這些附件包括氣體噴射系統、集成氣體洗滌器和反向過濾單元。氣體噴射機允許受控引入多環芳烴等氣體，可以改變擴散過程。集成氣體洗滌器確保有害副產物在進入反應室前被清除。反向過濾工具允許監測清潔氣體的廢氣。ALPHA 8 S是大型生產設施的理想選擇。其寬廣的溫度範圍和可編程的能力使其適合廣泛的擴散過程。其強大的設計和高效的配件進一步提高了生產線的效率。