二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293636223 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是為晶圓加工技術而設計的先進擴散爐及附件封裝。它具有很高的生產高品質基板的能力,用於顯示技術和其他產品。TEL ALPHA-8S通過大量的精確控制設置和可定制的功能,實現了極其精確和準確的結果。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S包括一個最高工作溫度為1350°C的擴散爐、兩個快速熱過程(RTP)模塊、一個超高真空泵送設備、一個PbSn-SnC蒸氣沈積系統、氣體輸送系統、自動化設備以及O2、Nar等幾個配套選項。爐子本身具有極高的低溫精度(± 1°C)和均勻性,確保熱處理和擴散過程沒有熱點或梯度。該裝置為最高溫度均勻性和可靠性而設計,從室溫一直到1350 °C都能達到溫度。Alpha 8S還可以通過其RTP模塊實現極快的熱循環,從而實現非常短的原位熱循環,從而提高流程的重復性和重復性,並提高設備性能。該機的其他特點還包括易於合金和無鉛焊接工藝的PbSn-SnC雙源、確保氧氣大氣穩定的氧氣濃度控制工具、可定制的數據采集資產以及自動冷卻模型。除了提供的設備外,TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S還包括全套操作和軟件,如控制面板、可編程邏輯控制器和基於Recipe-based的軟件包。這套軟件還包括一套先進的在線流程監測設備,用於實時監測流程、績效和成果。總體而言,TEL ALPHA-8 S是一個強大且高性能的系統,能夠生產出色的晶圓級顯示器、電子產品等。憑借其高水平的精度和準確性、可定制的選項以及高級軟件包,它是要求苛刻且準確的應用程序的絕佳選擇。
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